Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн хувьд суурь бүтэц нь нарийвчлалын төсвийн нэг хэсэг юм. Вафер шалгах хэрэгсэл, лазер боловсруулах платформ эсвэл хэмжилзүйн үе шат нь зөвхөн эхний өдөр хэмжээст нарийвчлалтай бүтэц шаарддаггүй. Энэ нь дулааны мөчлөгөөр дамжуулан геометрээ хадгалж, чичиргээнд тэсвэртэй, угсралтын харилцаагаа хадгалж, хяналттай орчинд цэвэрхэн байх бүтэцтэй байх шаардлагатай. Энэхүү шаардлагын хослол нь нарийн боржин чулуу нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн стандарт бүтцийн материал болсон шалтгаан юм.
Доор найман ердийн хэрэглээг харуулавнарийн боржин чулуун эд ангиудхагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжид, тус бүрийн хувьд: оролцсон ердийн эд ангиуд, амжилтыг тодорхойлдог инженерийн асуудлууд, нийлүүлэгч юу хүргэх ёстой вэ. Хэрэв та шинэ хэрэгсэл зохион бүтээж байгаа бол энэ нь таны лавлагаанд зориулсан шалгах хуудас юм.
Тээрэмдсэн халаас болон эрчилсэн оруулгатай том боловсруулсан боржин чулуун суурь нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн модулийн бүтцийн суурь юм.
1. Ваферын үзлэг болон оптик хэмжилзүйн тоног төхөөрөмжийн суурь
Оптик үзлэг, согогийн хяналт болон харааны хэмжилтийн системүүд бүгд нэг шаардлагыг хангадаг: өндөр нягтралтай оптикийн дор тогтвортой бэхэлгээ болон хэмжилтийн лавлагаа. Суурийн аливаа бичил хөдөлгөөн нь зураг дээр чимээ шуугиан болдог.
- Ердийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд:боржин чулуун суурь, багана, гүүр, оптик төмөр замын бэхэлгээний гадаргуу, эрчилсэн оруулга.
- Инженерийн чиглэл:оптик лавлах хавтгайн тэгш байдал, угсралтын гадаргуугийн хоорондох параллелизм, нүхний байрлалын нарийвчлал, дулааны тогтвортой байдал, чичиргээний хяналт.
- ZHHIMG юу санал болгодог вэ:чухал гадаргуу бүрийн материалын сонголт, бүтцийн боловсруулалт, нарийн давхцал, оруулга суурилуулах, хэмжээст шалгалтын тайлан.
- Таны лавлагаанд:2D/3D зураг, оптик ачаалал, байны давтагдах чадвар, орчны температурын хүрээ.
2. Вафер боловсруулах болон нарийвчлалтай байрлуулах платформууд
XY шатлал, шугаман моторын платформ болон өндөр нарийвчлалтай байрлал тогтоох механизмууд нь шатлал цагт мянга мянган удаа хурдасч, удааширч байх үед гулсдаггүй хатуу механик өгөгдөл шаарддаг.
- Ердийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд:боржин чулуун суурь хавтан, боржин чулуумашины ор, шугаман чиглүүлэгчийн бэхэлгээний төмөр зам, моторын бэхэлгээний дэвсгэр.
- Инженерийн чиглэл:чиглүүлэгчийн суудлын тэгш ба шулуун байдал, тэнхлэгүүдийн хоорондох перпендикуляр байдал, оруулгын татах бат бэх, шатнаас үүдэлтэй чичиргээг намсгах.
- ZHHIMG юу санал болгодог вэ:төмөр замын суудлыг хатуу тэсвэрлэх чадвартай болгохын тулд боловсруулах, эргүүлэх хүчийг баримтжуулах, модаль болон тэгш хэмжилтийн өгөгдөлтэй хамт суурилуулах.
- Таны лавлагаанд:цус харвалт, ачаалал, хурдатгалын профайл, байны байршлын нарийвчлал, суурилуулалтын чиглэл.
3. AOI тоног төхөөрөмжийн бүтцийн эд ангиуд
Автоматжуулсан оптик үзлэгийн хэрэгслүүд нь өндөр нягтралтай дүрслэлийг хурдан хөдөлгөөнтэй хослуулсан. Суурь, дам нуруу, багана нь камер болон гэрэлтүүлгийг агуулдаг бөгөөд угсралтын хүрээ нь модуль бүрийг геометрийн хамаарлаар байлгадаг.
- Ердийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд:боржин чулуун суурь, хөндлөвч дам нуруу, багана, камер болон мэдрэгч суурилуулах гадаргуу, угсралтын хүрээний интерфейсүүд.
- Инженерийн чиглэл:Баганын суурьтай тэгш өнцөгт байдал, дам нурууны параллелизм, нүх ба үүрний байрлалын нарийвчлал, урт хугацааны геометрийн тогтвортой байдал.
- ZHHIMG юу санал болгодог вэ:боловсруулсан болон давхцуулсан бүтцийн иж бүрдэл, металл эд ангиудыг холбох, үйлдвэрийн урьдчилсан угсралт болон тээвэрлэлтийн өмнө геометрийн баталгаажуулалт.
- Таны лавлагаанд:CAD өгөгдөл, камер болон гэрэлтүүлгийн зохион байгуулалт, хөдөлгөөний бүрхүүл, шаардлагатай дүрслэлийн тогтвортой байдал.
4. Аж үйлдвэрийн компьютер томографи болон рентген шинжилгээний системийн үндэс суурь
Аж үйлдвэрийн компьютер томографи болон рентген туяаны системүүд нь эх үүсвэр, манипуляцийн үе шат болон детекторыг нэг бүтэц дээр давхарладаг. Эдгээр гурвын хоорондох аливаа харьцангуй хөдөлгөөн нь дүрсний алдаа хэлбэрээр илэрдэг.
- Ердийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд:боржин чулуун суурь, эргэлдэгч шатны бэхэлгээний хавтан, эх үүсвэр ба илрүүлэгч багана, цацрагийн хамгаалалтын интеграцийн гадаргуу.
- Инженерийн чиглэл:эх үүсвэр, үе шат болон илрүүлэгчийн хоорондох коаксиаль тохируулгын өгөгдөл, эргэлтийн тэнхлэгийн суудлын тэгш байдал, чичиргээний хяналт, нүхний байрлалын нарийвчлал.
- ZHHIMG юу санал болгодог вэ:тэгшлэх өгөгдөл бүхий олон гадаргуутай боловсруулалт, оруулгын суурилуулалт, хэмжилтийн нөхцөл бүхий бүрэн хэмжээст тайлан.
- Таны лавлагаанд:эх үүсвэр илрүүлэгчийн зай, эргэлдэгч ачаалал, нягтралын бай, шалны зай болон суурилуулах арга.
5. Лазер боловсруулалт болон лазер хэмжилтийн платформууд
Фемтосекунд ба пикосекундын лазерын микро механикжуулалт, нарийн тэмдэглэгээ, оптик тохируулга болон лазер хэмжих тоног төхөөрөмж нь бүгд микроноор хэмжсэн цацрагийн шугамаар энергийг төвлөрүүлдэг. Оптикийн доорх тавцан нь цацрагийг хөдөлгөх ёсгүй.
- Ердийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд:боржин чулуун тавцан, оптик толгойн тулгуур, дам нурууны замыг бэхлэх төмөр зам, ажлын хэсгийн ширээ.
- Инженерийн чиглэл:оптик угсралтын хавтгайн тэгш байдал, хаалттай лазер орчинд дулааны тогтвортой байдал, өндөр давтамжийн чичиргээг сулруулах.
- ZHHIMG юу санал болгодог вэ:шаардлагатай үед зөгийн сархинаг эсвэл ган дэд бүтэцтэй нэгтгэх, чийгшүүлэх зориулалттай нарийн ширхэгтэй боржин чулуу, оптик бэхэлгээний гадаргууг давхарлан наах,
- Таны лавлагаанд:лазерын долгионы урт ба хүч, оптик зохион байгуулалт, ажлын талбай, цэвэр байдлын шаардлага.
6. CMM, Видео хэмжилт ба Нарийвчлалын хэмжилзүйн тоног төхөөрөмж
Боржин чулуу нь хэмжилзүйн анхдагч материал байсаар ирсэн: ажлын ширээ, чиглүүлэгч зам, багана, гүүр, CMM-ийн суурь, видео хэмжих машин болон бусад нарийвчлалтай хэмжих хэрэгслүүд нь боржин чулууны тогтвортой байдал, элэгдэлд тэсвэртэй байдлаас хамаардаг.
- Ердийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд:ажлын ширээ,нарийвчлалтай хэмжилтлавлах гадаргуу, гүүр болон баганын бүтэц, чиглүүлэгчийн суудал.
- Инженерийн чиглэл:хэмжих ширээний микрон түвшний тэгш байдал, бүрэн хөдөлгөөний үед чиглүүлэгчийн суудлын шулуун байдал, гулсах үед элэгдэлд тэсвэртэй байдал.
- ZHHIMG юу санал болгодог вэ:Тэгш байдлын газрын зурагтай гараар өнгөлсөн гадаргуу, ашигласан бодит багажтай холбоотой тохируулгын гэрчилгээ, сонголттой тохируулсан өнгөлгөө.
- Таны лавлагаанд:хэмжих хүрээ, нарийвчлалын анги, MPE зорилтот түвшин, холбогдох стандартууд.
7. Агаарын холхивчийн нарийвчлалтай хөдөлгөөний платформууд
Агаарын холхивч нь даралттай хальсан дээр хатуу холбоогүйгээр хөдөлдөг бөгөөд энэ нь үрэлт болон элэгдлийг тэг хүртэл бууруулдаг. Агаарын холхивчийн доорх боржин чулуу нь идэвхгүй блок биш: түүний гадаргуугийн чанар нь хальс хэрхэн ажилладагийг шууд тодорхойлдог.
- Ердийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд:давхарласан боржин чулуун суурьагаарын холхивчгадаргуу, чиглүүлэгч хашлага, дугуй ба хавтгай байдлыг тодорхойлох боржин чулуун мастерууд, хэт нарийвчлалтай тайзны бүтэц.
- Инженерийн чиглэл:Агаарын хальсны гадаргуугийн өнгөлгөө ба тэгш байдал, нүх сүв болон бичил согогийг хянах, эсрэг талын холхивчийн гадаргуугийн хоорондох параллелизм, урт хугацааны тогтвортой байдал.
- ZHHIMG юу санал болгодог вэ:баталгаажсан геометр, тохирсон гадаргуугийн багц, цэвэр өрөөнд тохирох сав баглаа боодолтой, өнгөлсөн агааржуулагч гадаргуу.
- Таны лавлагаанд:агаарын хальсны дизайн, ачаалал ба урьдчилан ачаалах, аялах, байны шулуун эсвэл бөөрөнхий байдал.
8. Хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн модулиудын модуль угсралтын платформууд
Өндөр нарийвчлалтай модулиудыг эцсийн байдлаар нэгтгэх нь хяналттай температур, чийгшил, чичиргээн дор, ихэвчлэн цэвэр өрөөнд явагддаг. Боржин чулуун тавцан нь боржин чулуун эд анги, металл эд анги, керамик эд анги, төмөр зам, агаарын даацын эд анги, хөдөлгөөний модулиудыг нэгтгэдэг угсралтын цэг болдог.
- Ердийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд:модульчлагдсан боржин чулуун угсралтын тавцан, багаж хэрэгсэл ба бэхэлгээний интерфэйс, модулийн залгах гадаргуу.
- Инженерийн чиглэл:модулиудын хоорондох өгөгдлийн тогтвортой байдал, оруулга болон dowel-ийн нарийвчлал, цэвэр өрөөний угсралтын нөхцөлтэй нийцтэй байдал.
- ZHHIMG юу санал болгодог вэ:цэвэр өрөөугсралт, үзлэг болон тохируулгабүрэн модулиудын нэгдэл, боржин чулуу, металл болон керамик эд ангиудыг баталгаажсан угсралтад нэгтгэх.
- Таны лавлагаанд:модулийн жагсаалт, цэвэр байдлын ангилал, угсралтын дараалал, эцсийн шалгалтын шалгуур.
Бүх найман програмын нэг инженерийн шалгах хуудас
Эдгээр хэрэглээний туршид инженерийн асуултууд хэвээрээ байна: аль геометр нь ямар талбайд, ямар дулааны болон чичиргээний орчинд, хэр удаан үргэлжлэх ёстой. Хэмжсэн өгөгдөл - хавтгай байдлын зураглал, багц материалын тайлан, оруулах эргүүлэх хүч --ээр хариулж чадах боржин чулуун нийлүүлэгч нь аудит хийх боломжтой нийлүүлэгч юм. ZHHIMG дэмждэгхагас дамжуулагч төхөөрөмжяг ийм арга барилтай үйлдвэрлэгчид.
ZHHIMG® нь хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчдийг захиалгат боржин чулуун суурь, хүрээ, чиглүүлэгч зам, агаар агуулсан бүтэц, нэгдсэн нарийвчлалтай угсралтаар дэмждэг. Инженерийн үнэлгээ хийлгэхийн тулд зургийнхаа хамт бидэнтэй холбогдоно уу.
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 9-р сарын 18